超精密加工

超精密 (UP) 加工是关于生产在几何精度和表面质量方面具有最高要求的零件。应用在显微镜、激光器、光纤、显示器、反射器等的光学中。

市场上的大多数 UP 机器依靠模拟放大器来实现高表面质量。Fraunhofer IPT与 Triamec 合作，首次成功实现了与 Triamec 的时钟数字高端放大器相媲美的结果，但能耗和成本显着降低

已经在空气轴承、静压轴承、龙门架和快速工具伺服系统的各种多轴系统成功应用。带有Beckhoff TwinCAT和 ISG CNC 扩展的Windows PC被用作控制系统，可以有效地执行非常具体的生产程序。Triamec 伺服驱动器通过 Tria-Link 透明地嵌入到 TwinCAT 系统中。

CNC 目标数据生成速率当前为 5kHz。设定值在 TwinCAT 系统中被插值到 10kHz，并作为 P、V、A 三元组（位置、速度和加速度值）发送到伺服驱动器。在那里，它们被进一步插值到 100kHz 以进行位置控制。

编码器自动校准在这里也非常成功地使用，现场几乎听不到空气轴承轴的声音。

对于大型空气轴承龙门系统，Tama 开发了特殊算法，以便两个电机正确分担负载并且龙门架完美均匀地移动。